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什么是PVD技术?
PVD 是物理气相沉积的缩写,PVD是在真空状态下材料蒸发沉积的技术,真空腔室是必备的条件,以避免蒸发出的材料和空气反应,PVD涂层用来制备新的、具有额外价值和特点的产品,如绚丽的色彩、耐磨损能力和降低摩擦。利用物理气相沉积 (PVD) 工艺,通过冷凝大部分金属材料并与气体结合,如氮,形成涂层。 基体材料是从固态转化为气态,并如在电弧工艺中一样被接受到的热能电离,或者如在溅射工艺中一样由动能电离。PVD技术是环保无污染的,总体来讲,汇成真空专注于PVD硬膜(和PACVD涂层,见下章)。
工艺基础 (PVD)
涂层厚度 | 0.5 – 10 µm |
硬度 | 1,000 – 4,000 HV |
耐高温 | 300 – 1,150 °C |
沉积温度 | 200 – 600 °C |
涂层结构:
• 多层
• 纳米复合涂层
• 单层
• 梯度涂层
• 微合金层
优点:
• 即使在较低的涂层温度下,也具有出色的涂层附着力
• 产量高,适合批量生产
• 不同的组件形状、大小和数量的灵活性
• 低摩擦系数的强抗磨损保护
• 优越的硬度、抗氧化性并降低了化学反应
典型应用:
• 切削工具
• 塑造、成型和锻造的初级工具
• 塑料加工工具
• 精密组件