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n 该设备主要用于精密光学元件、高精密光通讯产品镀制；如：电光膜、金属膜、激光膜、冷光膜、分光膜、增透膜、各种滤光片（紫、红外截止膜）、高反光膜、太阳保护膜、塑料镜片和无极玻璃抗反射膜、各种滤光片电光膜、玻璃工艺制品、各种反光灯碗等。
n 产品结构形式：立式前开门。
n 产品材质：SUS304不锈钢材料。
n 主要技术参数：
设备型号 | ZZS-550 | ZZS-700 | ZZS-800 | ZZS-900 | ZZS-1100 | ZZS-1300 | ZZS-1500 |
真空室 | Ф550×H680mm | Ф710×H850mm | Ф800×900mm | Ф900×1000mm | Ф1100×1300mm | Ф1300×H1500mm | Ф1500×H1600mm |
整球形（扇形）工件盘 | Ф550mm | Ф650mm | Ф750mm | Ф850mm | Ф1020mm | Ф1200mm | Ф1400mm |
抽气系统 | 2X-30 + K-300 TRP-90直联泵 | 2X-70 + K-500 | 2X-70 + KA600 | 2X-70 + KA630 + ZJP150 | 2X-70 + KC-650 +ZJP300 | 2X-70 + KA600X2 +ZJP600 | (2X-70)X2 + KA600X2 + ZJP600 |
蒸发源 | 电阻蒸发两组 5KW电子枪1只 | 电阻蒸发两组 5KW电子枪1只 | 电阻蒸发两组 5KW电子枪1只 | 电阻蒸发两组 5KW电子枪1只 | 电阻蒸发两组 6KW电子枪2只 | 电阻蒸发两组 8KW电子枪2只 | 电阻蒸发两组 8KW电子枪2只 |
极限真空 | 3.0×10-4Pa（空载） | ||||||
恢复真空 | 4.0×10-3Pa（空载）≤15min | ||||||
漏率 | GB-11164-89真空技术要求 | ||||||
工件转速 | 0∽30rpm | ||||||
烘烤温度 | 常温∽350℃，烘烤器件：碘钨灯或不锈钢管状加热器 | ||||||
膜厚控制 | 石英晶体膜厚控制仪：INFICON SQC-310，单探头；可选配双探头或IC/6六探头 | ||||||
充O2压力控制 | 配置气体质量流量计1套 | ||||||
操作控制 | 触摸屏一体机或工控机 | ||||||
电力 | 三相五线制；380V;50HZ | ||||||
冷却水 （压强/温度） | 0.2∽0.3Mpa（工业软水、去离子水）； 20℃—25℃； | ||||||
空气压力 | 0.5—0.8Mpa（干燥） | ||||||
