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n   玻璃、视窗玻璃、电光膜、金属膜、激光膜、冷光膜、分光膜、增透膜、高反光膜、太阳保护膜、塑料镜片和无极玻璃抗反射膜、玻璃工艺制品等。

n   晶体膜厚控制仪和电子枪扫描控制仪以通讯方式与计算机相连接。CPU与仪器单元之间采用RS485接口，设备运行稳定可靠；友好的操作界面和高智能化的设计操作变得轻松自如。

n   产品结构形式：立式前开门。

n   产品材质：SUS304不锈钢材料。

 

n   主要技术参数：

设备型号

ZZS-1750B

ZZS-2050B

ZZS-2700B

真空室

Ф1700×H1650mm；SUS304

Ф2050×H1700mm；SUS304

Ф2700×H1750mm；   SUS304

工件盘

Ф1620mm

Ф1950mm∽2000mm

Ф2600mm

工件转速

0∽30rpm

0∽30rpm

0∽30rpm

抽气系统

前级泵1台+扩散泵2台+维持泵1台+罗茨泵1台

+氟利昂冷阱

前级泵2台+扩散泵2台+维持泵1台+罗茨泵1台+Polycold(双端)

前级泵2台+扩散泵2台+维持泵1台+罗茨泵1台

+Polycold(双端)

烘烤

碘钨灯或管状加热器350℃；最高温度：350℃

极限真空

≤3×10-4Pa

恢复真空

大气∽3×10-3Pa≤15min

漏率

GB-11164-89真空技术要求

离子源

考夫曼或霍尔源

蒸发源

电子枪2只；功率:6KW 、270O、单电源

电子枪2只；功率:10KW 、270O、单电源

膜厚控制

石英晶体膜厚控制仪：INFICON 公司SQC-310单探头或选配双探头及IC/6

设备尺寸

约4450mm(长)×4000mm(宽) ×3000mm(高)

约5200mm(长)×4000mm(宽) ×3300mm(高)

约6200mm(长)×5000mm(宽) ×3500mm(高)

操作控制

触摸屏一体机或工控机系统

电力

三相五线制；380V;50HZ

冷却水

（压强/温度）

0.2∽0.3Mpa（工业软水、去离子水）；

20℃∽25℃

空气压力

0.5—0.8Mpa（干燥）


设备部件展示.jpg