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n 本设备用于在各种金属上镀各种颜色：咖啡色、钛金、蓝色、枪色、枪黑色等。
n 本设备融合了国内外系统配套厂家的先进产品，并可以针对性地满足客户在技术研发上的述求。
n 产品结构形式：立式前开门。
n 产品材质：SUS304不锈钢材料。
n 主要技术参数：
设备型号 | JSDH-1300 | JSDH-1400 | JSDH-1500 | JSDH-1600 | JSDH-1680 |
真空室 | Ф1300×H1200mm；SUS304 | Ф1400×H1200mm；SUS304 | Ф1500×H1200mm；SUS304 | Ф1600×H1200mm；SUS304 | Ф1680×H1200mm；SUS304 |
工件盘 | 6杆-18杆；可定制 | 6杆-18杆；可定制 | 6杆-18杆；可定制 | 6杆-18杆；可定制 | 6杆-18杆；可定制 |
工件转速 | 公自传0∽9rpm | 公自传0∽9rpm | 公自传0∽9rpm | 公自传0∽9rpm | 公自传0∽9rpm |
抽气系统 | 机械泵2台+分子泵2台+维持泵1台+罗茨泵1台 | 机械泵2台+分子泵2台+维持泵1台+罗茨泵1台 | 机械泵2台+分子泵2台+维持泵1台+罗茨泵1台 | 机械泵2台+分子泵3台+维持泵1台+罗茨泵2台 | 机械泵2台+分子泵3台+维持泵1台+罗茨泵2台 |
加热器 | 管状加热器300℃；最高温度：300℃ | 管状加热器300℃；最高温度：300℃ | 管状加热器300℃；最高温度：300℃ | 管状加热器300℃；最高温度：300℃ | 管状加热器300℃；最高温度：300℃ |
极限真空 | 6×10-4Pa | 6×10-4Pa | 6×10-4Pa | 6×10-4Pa | 6×10-4Pa |
恢复真空 | 大气∽6×10-3Pa≤15min | 大气∽6×10-3Pa≤15min | 大气∽6×10-3Pa≤15min | 大气∽6×10-3Pa≤15min | 大气∽6×10-3Pa≤15min |
漏率 | GB-11164-89真空技术要求 | GB-11164-89真空技术要求 | GB-11164-89真空技术要求 | GB-11164-89真空技术要求 | GB-11164-89真空技术要求 |
偏压电源 | 单极脉冲偏压电源 | 单极脉冲偏压电源 | 单极脉冲偏压电源 | 单极脉冲偏压电源 | 单极脉冲偏压电源 |
溅射阴极 | HY-100型多弧靶,自动引弧 | HY-100型多弧靶，自动引弧 | HY-100型多弧靶，自动引弧 | HY-100型多弧靶，自动引弧 | HY-100型多弧靶，自动引弧 |
磁控阴极 | YZ-70型圆柱靶 | YZ-70型圆柱靶 | YZ-70型圆柱靶 | YZ-70型圆柱靶 | YZ-70型圆柱靶 |
设备尺寸 | 约4200mm(长)×3500mm(宽) ×2500mm(高) | 约4200mm(长)×3500mm(宽) ×2800mm(高) | 约4200mm(长)×3500mm(宽) ×2800mm(高) | 约4500mm(长)×4000mm(宽) ×2800mm(高) | 约4500mm(长)×4500mm(宽) ×2800mm(高) |
操作控制 | 触摸屏一体机或工控机 | 触摸屏一体机或工控机 | 触摸屏一体机或工控机 | 触摸屏一体机或工控机 | 触摸屏一体机或工控机 |
电力 | 三相五线制；380V;50HZ | 三相五线制；380V;50HZ | 三相五线制；380V;50HZ | 三相五线制；380V;50HZ | 三相五线制；380V;50HZ |
冷却水 （压强/温度） | 0.2∽0.3Mpa / 20℃∽25℃ （工业软水、去离子水） | 0.2∽0.3Mpa / 20℃∽25℃ （工业软水、去离子水） | 0.2∽0.3Mpa / 20℃∽25℃ （工业软水、去离子水） | 0.2∽0.3Mpa / 20℃∽25℃ （工业软水、去离子水） | 0.2∽0.3Mpa / 20℃∽25℃ （工业软水、去离子水） |
空气压力 | 0.5—0.8Mpa（干燥） | 0.5—0.8Mpa（干燥） | 0.5—0.8Mpa（干燥） | 0.5—0.8Mpa（干燥） | 0.5—0.8Mpa（干燥） |
