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n   本设备适合在各种金属上镀各种颜色：钛金、蓝色、杂色等。

n   本设备融合了国内外系统配套厂家的先进产品,并可以针对性地满足客户在技术研发上的述求。

n   产品结构形式：立式前开门。

n   产品材质：SUS304不锈钢材料。、

n   主要技术参数：

 

设备型号

DH-1300

DH-1400

DH-1500

真空室

Ф1300×H1200mm；SUS304

Ф1400×H1200mm；SUS304

Ф1500×H1200mm；SUS304

工件盘

6杆-18杆；可定制

6杆-18杆；可定制

6杆-20杆；可定制

工件转速

公自传0∽9rpm

公自传0∽9rpm

公自传0∽9rpm

抽气系统

前级泵2台 + 分子泵2台 + 维持泵1台+罗茨泵1台

前级泵2台 + 分子泵2台 + 维持泵1台 + 罗茨泵1台

前级泵2台 + 分子泵2台 + 维持泵1台 + 罗茨泵1台

加热器

管状加热器300℃；最高温度：300℃

管状加热器300℃；最高温度：300℃

管状加热器300℃；最高温度：300℃

极限真空

6×10-4Pa

6×10-4Pa

6×10-4Pa

恢复真空

大气∽6×10-3Pa≤15min

大气∽6×10-3Pa≤15min

大气∽6×10-3Pa≤15min

漏率

GB-11164-89真空技术要求

GB-11164-89真空技术要求

GB-11164-89真空技术要求

偏压电源

单极脉冲偏压电源

单极脉冲偏压电源

单极脉冲偏压电源

溅射阴极

HY-100型多弧靶，自动引弧

HY-100型多弧靶，自动引弧

HY-100型多弧靶气动，自动引弧

设备尺寸

约4200mm(长)×3500mm(宽) ×2500mm(高)

约4200mm(长)×3500mm(宽) ×2800mm(高)

约4200mm(长)×3500mm(宽) ×2800mm(高)

操作控制

触摸屏一体机

触摸屏一体机

触摸屏一体机

电力

三相五线制；380V;50HZ

三相五线制；380V;50HZ

三相五线制；380V;50HZ

冷却水

（压强/温度）

0.2∽0.3Mpa / 20℃∽25℃

（工业软水、去离子水）

0.2∽0.3Mpa / 20℃∽25℃

（工业软水、去离子水）

0.2∽0.3Mpa / 20℃∽25℃

（工业软水、去离子水）

空气压力

0.5—0.8Mpa（干燥）

0.5—0.8Mpa（干燥）

0.5—0.8Mpa（干燥）